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製品の詳細
LW 400 LJT/LW 400 LMDT大プラットフォーム無限遠チップ検査金相顕微鏡
大プラットフォーム無限遠チップ検査顕微鏡は半導体ウエハの検査、チップパッケージ、回路基板、材料などの業界に適している。偏光と明視野、暗視野の観察変換を行うことができる。専門的に設計された大移動範囲ステージ、移動範囲：8“×8”（204 mm×204 mm）、半導体業界の需要を満たす。粗微動同軸焦点調整機構、粗動緩み調整可能、リミットロック装置付き、微動格子値：0.7μm。三眼鏡筒、100%透光撮影が可能。
標準構成
技術仕様 | |||
接眼レンズ |
大視野WF 10 X（視野数Φ22 mm） |
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無限遠長距離平場消色差対物レンズ |
LW400LJT |
PL L 5 X/0.12動作距離：26.1 mm |
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PL L 10 X/0.25動作距離：20.2 mm | |||
PL L 20 X/0.40動作距離：8.80 mm | |||
PL L 50 X/0.70動作距離：3.68 mm | |||
PL L 80 X/0.80動作距離：1.25 mm | |||
LW400LMDT |
PL L 5 X/0.12 BD動作距離：9.70 mm |
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PL L 10 X/0.25 BD動作距離：9.30 mm | |||
PL L 20 X/0.40 BD動作距離：7.23 mm | |||
PL L 50 X/0.70 BD動作距離：2.50 mm | |||
PL L 80 X/0.80 BD動作距離：1.25 mm | |||
接眼鏡筒 |
三眼鏡30は傾斜しており、100%通光撮影が可能である |
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落射照明システム |
LW400LJT |
6 V 30 Wハロゲンランプ、輝度調整可能 |
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LW400LMDT |
12 V 50 Wハロゲンランプ、輝度調整可能 |
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視野光欄、開口光欄、（黄、青、緑、研磨ガラス）カラーフィルタ変換装置を内蔵し、プッシュプル式偏光検出器と偏光子 | |||
フォーカシング機構 |
粗微動同軸焦点調整、ベルトロックとリミット装置、微動格子値：0.7μm |
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コンバータ |
五孔（インナボール内位置決め） |
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ステージ |
機械式ステージ、外形寸法：280 mmX 270 mm、移動範囲：横（X）204 mm、縦（Y）204 mm |
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